光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
5期
884-888
,共5页
精密定位工作台%系统误差%反相补偿法
精密定位工作檯%繫統誤差%反相補償法
정밀정위공작태%계통오차%반상보상법
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响.给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4 μm改善到1.3 μm和从137.6 nm改善到22.2 nm.理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳.
運用反相補償法原理,從誤差麯線中分離齣繫統誤差併與其反相麯線疊加以消除繫統誤差的影響.給齣瞭對精密定位平檯宏動工作檯和微動工作檯進行補償的具體實例,補償後定位誤差分彆從17.4 μm改善到1.3 μm和從137.6 nm改善到22.2 nm.理論分析和實驗結果錶明,反相補償法對于降低繫統誤差十分有效,但對于隨機誤差效果不佳.
운용반상보상법원리,종오차곡선중분리출계통오차병여기반상곡선첩가이소제계통오차적영향.급출료대정밀정위평태굉동공작태화미동공작태진행보상적구체실례,보상후정위오차분별종17.4 μm개선도1.3 μm화종137.6 nm개선도22.2 nm.이론분석화실험결과표명,반상보상법대우강저계통오차십분유효,단대우수궤오차효과불가.
