CAJ | 학술논문

为了提高Ge基底的红外光能量的透过率和膜层的机械强度,对Ge基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的合理的膜料选择、膜系设计和优化方法以及采用离子束辅助沉积技术沉积该膜系的过程.给出了离子束辅助沉积技术各工艺参数,以及在最佳参数条件下制备的7.5～11.μm波段宽带减反射膜单双面增透实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.2%,在设计的波段范围内,平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定,重复性好,能够通过GJB2485-95所规定的各项环境测试,并且光学性能没有明显的变化,这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
위료제고Ge기저적홍외광능량적투과솔화막층적궤계강도,대Ge기저상고성능적홍외관대감반사막적설계여제비공예진행료연구.개소료홍외관대감반사막적합리적막료선택、막계설계화우화방법이급채용리자속보조침적기술침적해막계적과정.급출료리자속보조침적기술각공예삼수,이급재최가삼수조건하제비적7.5～11.μm파단관대감반사막단쌍면증투실측광보곡선,기봉치투과솔고체99.2%,재설계적파단범위내,평균투과솔대우98%,막층부착성능호,광궤성능은정,중복성호,능구통과GJB2485-95소규정적각항배경측시,병차광학성능몰유명현적변화,저대우홍외광학계통적응용구유십분중요적의의.