功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
1期
120-124
,共5页
宋朝瑞%程新红%何大伟%徐大伟
宋朝瑞%程新紅%何大偉%徐大偉
송조서%정신홍%하대위%서대위
NbAlO栅介质%价带偏移%超晶格
NbAlO柵介質%價帶偏移%超晶格
NbAlO책개질%개대편이%초정격
本文针对SiGe上Al2O3/NbAlO/Al2O3三明治结构介质栈的热稳定性和电学性能进行了研究.高分辨透射电镜(HRTEM)测试表明退火后薄膜是结晶的,同步辐射X射线反射率(XRR)和X射线衍射(XRD)分析表明在薄膜中存在超晶格结构,有0.5nm的界面层存在,X射线光电子谱(XPS)表明界面层主要成分是SiOx,介质层与SiGe衬底之间的价带偏移是2.9eV.电学测试分析给出的等效栅氧厚度和介电常数分别是1.8nm和19.
本文針對SiGe上Al2O3/NbAlO/Al2O3三明治結構介質棧的熱穩定性和電學性能進行瞭研究.高分辨透射電鏡(HRTEM)測試錶明退火後薄膜是結晶的,同步輻射X射線反射率(XRR)和X射線衍射(XRD)分析錶明在薄膜中存在超晶格結構,有0.5nm的界麵層存在,X射線光電子譜(XPS)錶明界麵層主要成分是SiOx,介質層與SiGe襯底之間的價帶偏移是2.9eV.電學測試分析給齣的等效柵氧厚度和介電常數分彆是1.8nm和19.
본문침대SiGe상Al2O3/NbAlO/Al2O3삼명치결구개질잔적열은정성화전학성능진행료연구.고분변투사전경(HRTEM)측시표명퇴화후박막시결정적,동보복사X사선반사솔(XRR)화X사선연사(XRD)분석표명재박막중존재초정격결구,유0.5nm적계면층존재,X사선광전자보(XPS)표명계면층주요성분시SiOx,개질층여SiGe츤저지간적개대편이시2.9eV.전학측시분석급출적등효책양후도화개전상수분별시1.8nm화19.
