传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
10期
123-126
,共4页
赵海涛%陈吉安%王全保%范振民
趙海濤%陳吉安%王全保%範振民
조해도%진길안%왕전보%범진민
压力传感器%碳纳米管%复合电镀%有限元仿真%优化设计
壓力傳感器%碳納米管%複閤電鍍%有限元倣真%優化設計
압력전감기%탄납미관%복합전도%유한원방진%우화설계
碳纳米管是场发射阴极的极佳材料.基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术,采用有限元软件对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真,使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化,并设计了实现压力传感器的工艺过程.碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小,选取的长度不影响直立,间距在500 nm时可获得最大电流.阳极膜的压力窗最优厚度为0.209 84 mm,窗口长度4.9178 mm,此时阳极膜的变形和应力均处于最大值.通过可行性工艺的执行,可制造出体积小、质量轻、灵敏度高的压力传感器.
碳納米管是場髮射陰極的極佳材料.基于碳納米管和金屬銅的複閤電鍍技術,採用有限元軟件對壓力傳感器的碳納米管佈設進行瞭有限元倣真,使用模擬退火算法對暘極變形膜的呎吋進行瞭優化,併設計瞭實現壓力傳感器的工藝過程.碳納米管的管徑在不影響電鍍質量的情況下可儘量小,選取的長度不影響直立,間距在500 nm時可穫得最大電流.暘極膜的壓力窗最優厚度為0.209 84 mm,窗口長度4.9178 mm,此時暘極膜的變形和應力均處于最大值.通過可行性工藝的執行,可製造齣體積小、質量輕、靈敏度高的壓力傳感器.
탄납미관시장발사음겁적겁가재료.기우탄납미관화금속동적복합전도기술,채용유한원연건대압력전감기적탄납미관포설진행료유한원방진,사용모의퇴화산법대양겁변형막적척촌진행료우화,병설계료실현압력전감기적공예과정.탄납미관적관경재불영향전도질량적정황하가진량소,선취적장도불영향직립,간거재500 nm시가획득최대전류.양겁막적압력창최우후도위0.209 84 mm,창구장도4.9178 mm,차시양겁막적변형화응력균처우최대치.통과가행성공예적집행,가제조출체적소、질량경、령민도고적압력전감기.
