现代化工
現代化工
현대화공
MODERN CHEMICAL INDUSTRY
2012年
4期
104-106,108
,共4页
周祥顺%王钟辉%胡小冬%王岭%黎展荣
週祥順%王鐘輝%鬍小鼕%王嶺%黎展榮
주상순%왕종휘%호소동%왕령%려전영
多晶硅%尾气回收%氯化氢%模拟
多晶硅%尾氣迴收%氯化氫%模擬
다정규%미기회수%록화경%모의
建立了多晶硅生产氯化氢回收工艺过程的热力学模型,考察了吸收塔进气的氯化氢摩尔分数、吸收塔的液气比、解吸塔回流比等因素对吸收尾气中氯化氢摩尔分数、回收氯化氢中氯化氢摩尔分数的影响,并考察了闪蒸脱氢的最优条件.最终得出CVD尾气的最优吸收液气比和解吸同流比分别为1.4和0.3；STC氢化尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为2.0和0.3；闪蒸的最优条件是0.2 MPa、-40℃.
建立瞭多晶硅生產氯化氫迴收工藝過程的熱力學模型,攷察瞭吸收塔進氣的氯化氫摩爾分數、吸收塔的液氣比、解吸塔迴流比等因素對吸收尾氣中氯化氫摩爾分數、迴收氯化氫中氯化氫摩爾分數的影響,併攷察瞭閃蒸脫氫的最優條件.最終得齣CVD尾氣的最優吸收液氣比和解吸同流比分彆為1.4和0.3；STC氫化尾氣的最優吸收液氣比和解吸迴流比分彆為2.0和0.3；閃蒸的最優條件是0.2 MPa、-40℃.
건립료다정규생산록화경회수공예과정적열역학모형,고찰료흡수탑진기적록화경마이분수、흡수탑적액기비、해흡탑회류비등인소대흡수미기중록화경마이분수、회수록화경중록화경마이분수적영향,병고찰료섬증탈경적최우조건.최종득출CVD미기적최우흡수액기비화해흡동류비분별위1.4화0.3；STC경화미기적최우흡수액기비화해흡회류비분별위2.0화0.3；섬증적최우조건시0.2 MPa、-40℃.
