压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2012年
4期
597-600
,共4页
镍酸镧%缓冲层%钙锶铋钛%制备%电性能
鎳痠鑭%緩遲層%鈣鍶鉍鈦%製備%電性能
얼산란%완충층%개송필태%제비%전성능
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,然后在LaNiO3/Si(100)上制备了钙锶铋钛薄膜.研究了热处理工艺对LaNiO3(LNO)薄膜的影响.研究结果表明,当热分解温度为350℃、退火温度为750℃,厚为250 nm时,制备的LNO薄膜的(110)衍射峰取向择优最明显,电阻率也较低,(为1.8×10-3 Ω·cm).LNO缓冲层的引入促进钙锶铋钛薄膜沿A轴方向生长,明显改善了钙锶铋钛薄膜的电性能,即剩余极化强度Pr=15.2 μC/cm2,矫顽电场Ec=70 kV/cm.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法在Si(100)襯底上製備瞭LaNiO3薄膜,然後在LaNiO3/Si(100)上製備瞭鈣鍶鉍鈦薄膜.研究瞭熱處理工藝對LaNiO3(LNO)薄膜的影響.研究結果錶明,噹熱分解溫度為350℃、退火溫度為750℃,厚為250 nm時,製備的LNO薄膜的(110)衍射峰取嚮擇優最明顯,電阻率也較低,(為1.8×10-3 Ω·cm).LNO緩遲層的引入促進鈣鍶鉍鈦薄膜沿A軸方嚮生長,明顯改善瞭鈣鍶鉍鈦薄膜的電性能,即剩餘極化彊度Pr=15.2 μC/cm2,矯頑電場Ec=70 kV/cm.
채용용효-응효(Sol-Gel)법재Si(100)츤저상제비료LaNiO3박막,연후재LaNiO3/Si(100)상제비료개송필태박막.연구료열처리공예대LaNiO3(LNO)박막적영향.연구결과표명,당열분해온도위350℃、퇴화온도위750℃,후위250 nm시,제비적LNO박막적(110)연사봉취향택우최명현,전조솔야교저,(위1.8×10-3 Ω·cm).LNO완충층적인입촉진개송필태박막연A축방향생장,명현개선료개송필태박막적전성능,즉잉여겁화강도Pr=15.2 μC/cm2,교완전장Ec=70 kV/cm.
