微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
5期
313-317
,共5页
李小卿%常洪龙%焦文龙%谢建兵%袁广民
李小卿%常洪龍%焦文龍%謝建兵%袁廣民
리소경%상홍룡%초문룡%사건병%원엄민
微机械陀螺%杠杆%放大%机械灵敏度%系统级仿真
微機械陀螺%槓桿%放大%機械靈敏度%繫統級倣真
미궤계타라%강간%방대%궤계령민도%계통급방진
提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度.该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态中,通过杠杆将驱动梳齿位移放大后传递到质量块上,在陀螺驱动模态谐振频率一定的情况下增大了质量块在驱动方向的运动速度,提高了陀螺敏感模态的科氏力及陀螺表头的机械灵敏度,从而提高陀螺系统的灵敏度和精度.在Coventorware中对陀螺结构进行了系统级仿真,仿真结果表明在杠杆动力臂和阻力臂长度之比为1∶5.2时,陀螺机械灵敏度放大了5.9倍.因此,通过在微机械陀螺驱动模态中使用杠杆结构可以提高其灵敏度和精度.
提齣瞭一種基于機械槓桿放大機構的微機械陀螺設計方案,用于提高微機械陀螺的靈敏度和精度.該槓桿放大機構使用在陀螺的驅動模態中,通過槓桿將驅動梳齒位移放大後傳遞到質量塊上,在陀螺驅動模態諧振頻率一定的情況下增大瞭質量塊在驅動方嚮的運動速度,提高瞭陀螺敏感模態的科氏力及陀螺錶頭的機械靈敏度,從而提高陀螺繫統的靈敏度和精度.在Coventorware中對陀螺結構進行瞭繫統級倣真,倣真結果錶明在槓桿動力臂和阻力臂長度之比為1∶5.2時,陀螺機械靈敏度放大瞭5.9倍.因此,通過在微機械陀螺驅動模態中使用槓桿結構可以提高其靈敏度和精度.
제출료일충기우궤계강간방대궤구적미궤계타라설계방안,용우제고미궤계타라적령민도화정도.해강간방대궤구사용재타라적구동모태중,통과강간장구동소치위이방대후전체도질량괴상,재타라구동모태해진빈솔일정적정황하증대료질량괴재구동방향적운동속도,제고료타라민감모태적과씨력급타라표두적궤계령민도,종이제고타라계통적령민도화정도.재Coventorware중대타라결구진행료계통급방진,방진결과표명재강간동역비화조역비장도지비위1∶5.2시,타라궤계령민도방대료5.9배.인차,통과재미궤계타라구동모태중사용강간결구가이제고기령민도화정도.
