材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
16期
153-155,164
,共4页
分子动力学%入射角度%Ti/Al薄膜
分子動力學%入射角度%Ti/Al薄膜
분자동역학%입사각도%Ti/Al박막
采用分子动力学方法模拟Ti在Al(001)表面的薄膜生长过程,计算不同入射角度下Ti薄膜的表面粗糙度、堆积密度、径向分布函数、键对含量比.结果表明,当入射角度小于30°时,其对Ti薄膜粗糙度、堆积密度的影响很小,而当入射角度大于30°时,Ti薄膜粗糙度增加、堆积密度下降;入射角度对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主.
採用分子動力學方法模擬Ti在Al(001)錶麵的薄膜生長過程,計算不同入射角度下Ti薄膜的錶麵粗糙度、堆積密度、徑嚮分佈函數、鍵對含量比.結果錶明,噹入射角度小于30°時,其對Ti薄膜粗糙度、堆積密度的影響很小,而噹入射角度大于30°時,Ti薄膜粗糙度增加、堆積密度下降;入射角度對Ti薄膜微觀結構的影響很小,且Ti薄膜以fcc結構為主.
채용분자동역학방법모의Ti재Al(001)표면적박막생장과정,계산불동입사각도하Ti박막적표면조조도、퇴적밀도、경향분포함수、건대함량비.결과표명,당입사각도소우30°시,기대Ti박막조조도、퇴적밀도적영향흔소,이당입사각도대우30°시,Ti박막조조도증가、퇴적밀도하강;입사각도대Ti박막미관결구적영향흔소,차Ti박막이fcc결구위주.
