光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
2期
117-120
,共4页
双狭缝波导%纳米传感器%时域有限差分法%有限元法
雙狹縫波導%納米傳感器%時域有限差分法%有限元法
쌍협봉파도%납미전감기%시역유한차분법%유한원법
提出了一种新颖的纳米传感器结构,其工作原理是利用双狭缝波导中纳米量级结构变化对狭缝波导内光场能量分布的影响.数值仿真结果表明:该结构的传感器对位移变化的最低响应度可达到1 nm量级,测量量程可达到100 nm左右.有望应用于位移、压力、温度等物理量的高灵敏度测量.
提齣瞭一種新穎的納米傳感器結構,其工作原理是利用雙狹縫波導中納米量級結構變化對狹縫波導內光場能量分佈的影響.數值倣真結果錶明:該結構的傳感器對位移變化的最低響應度可達到1 nm量級,測量量程可達到100 nm左右.有望應用于位移、壓力、溫度等物理量的高靈敏度測量.
제출료일충신영적납미전감기결구,기공작원리시이용쌍협봉파도중납미량급결구변화대협봉파도내광장능량분포적영향.수치방진결과표명:해결구적전감기대위이변화적최저향응도가체도1 nm량급,측량량정가체도100 nm좌우.유망응용우위이、압력、온도등물리량적고령민도측량.
