光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
7期
131-135
,共5页
刘乾%杨维川%袁道成%刘波
劉乾%楊維川%袁道成%劉波
류건%양유천%원도성%류파
位移传感器%光谱共焦%光学设计%色散镜头
位移傳感器%光譜共焦%光學設計%色散鏡頭
위이전감기%광보공초%광학설계%색산경두
光谱共焦位移传感器具有精度高、适应性强等特点,传感器的关健部件是产生轴向色散的物镜.本文对传感器的工作原理进行了分析,推导了计算物镜光学参数的公式,并依据此公式计算结果设计物镜,得到了满足设计指标的物镜,且与理论计算相符.传感器的工作波长范围是500～700 nm,设计的色散物镜利用高色散玻璃和双胶合透镜达到了1 mm的量程,配以合适的光谱仪,传感器分辫率优于1 μm.物镜使用齐明透镜和双胶合透镜减小球差,使得各波长的最大球差约为0.6 μm,满足物镜精度要求.
光譜共焦位移傳感器具有精度高、適應性彊等特點,傳感器的關健部件是產生軸嚮色散的物鏡.本文對傳感器的工作原理進行瞭分析,推導瞭計算物鏡光學參數的公式,併依據此公式計算結果設計物鏡,得到瞭滿足設計指標的物鏡,且與理論計算相符.傳感器的工作波長範圍是500～700 nm,設計的色散物鏡利用高色散玻璃和雙膠閤透鏡達到瞭1 mm的量程,配以閤適的光譜儀,傳感器分辮率優于1 μm.物鏡使用齊明透鏡和雙膠閤透鏡減小毬差,使得各波長的最大毬差約為0.6 μm,滿足物鏡精度要求.
광보공초위이전감기구유정도고、괄응성강등특점,전감기적관건부건시산생축향색산적물경.본문대전감기적공작원리진행료분석,추도료계산물경광학삼수적공식,병의거차공식계산결과설계물경,득도료만족설계지표적물경,차여이론계산상부.전감기적공작파장범위시500～700 nm,설계적색산물경이용고색산파리화쌍효합투경체도료1 mm적량정,배이합괄적광보의,전감기분변솔우우1 μm.물경사용제명투경화쌍효합투경감소구차,사득각파장적최대구차약위0.6 μm,만족물경정도요구.
