金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
1期
58-61
,共4页
朱从容%吕冰海%邓乾发%任尹飞
硃從容%呂冰海%鄧乾髮%任尹飛
주종용%려빙해%산건발%임윤비
合金薄膜%铜衬底%超精抛光%表面形成过程
閤金薄膜%銅襯底%超精拋光%錶麵形成過程
합금박막%동츤저%초정포광%표면형성과정
本文采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫对铜衬底进行超精密抛光工艺研究,对铜衬底的表面粗糙度、材料去除率以及铜衬底表面组织结构变化过程进行了研究,并讨论了铜衬底在超精密抛光时,不同抛光条件对其表面粗糙度和材料去除率的影响,以及抛光压力对铜衬底的表面形成过程的影响.结果表明,采用聚氨酯抛光盘和绒布抛光垫可以消除划痕,抛光后的铜衬底表面粗糙度可达Ra6nm.
本文採用聚氨酯拋光盤和絨佈拋光墊對銅襯底進行超精密拋光工藝研究,對銅襯底的錶麵粗糙度、材料去除率以及銅襯底錶麵組織結構變化過程進行瞭研究,併討論瞭銅襯底在超精密拋光時,不同拋光條件對其錶麵粗糙度和材料去除率的影響,以及拋光壓力對銅襯底的錶麵形成過程的影響.結果錶明,採用聚氨酯拋光盤和絨佈拋光墊可以消除劃痕,拋光後的銅襯底錶麵粗糙度可達Ra6nm.
본문채용취안지포광반화융포포광점대동츤저진행초정밀포광공예연구,대동츤저적표면조조도、재료거제솔이급동츤저표면조직결구변화과정진행료연구,병토론료동츤저재초정밀포광시,불동포광조건대기표면조조도화재료거제솔적영향,이급포광압력대동츤저적표면형성과정적영향.결과표명,채용취안지포광반화융포포광점가이소제화흔,포광후적동츤저표면조조도가체Ra6nm.
