功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
1期
23-25
,共3页
SiCN薄膜%铜互连%电介质阻挡层%磁控溅射
SiCN薄膜%銅互連%電介質阻擋層%磁控濺射
SiCN박막%동호련%전개질조당층%자공천사
采用磁控溅射法在单晶硅衬底上制备了SiCN及Cu/SiCN薄膜,并对试样进行了退火处理.利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、四探针测试仪(FPP)研究了SiCN薄膜的表面形貌、物相结构及在Cu/SiCN/Si结构中SiCN薄膜对铜与硅的阻挡性能.结果表明,沉积态SiCN薄膜为无定型的非晶结构,晶化温度在1000℃以上;SiCN薄膜作为Cu的扩散阻挡层有较好的热稳定性及阻挡性,阻挡失效温度在600℃左右.
採用磁控濺射法在單晶硅襯底上製備瞭SiCN及Cu/SiCN薄膜,併對試樣進行瞭退火處理.利用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)、四探針測試儀(FPP)研究瞭SiCN薄膜的錶麵形貌、物相結構及在Cu/SiCN/Si結構中SiCN薄膜對銅與硅的阻擋性能.結果錶明,沉積態SiCN薄膜為無定型的非晶結構,晶化溫度在1000℃以上;SiCN薄膜作為Cu的擴散阻擋層有較好的熱穩定性及阻擋性,阻擋失效溫度在600℃左右.
채용자공천사법재단정규츤저상제비료SiCN급Cu/SiCN박막,병대시양진행료퇴화처리.이용원자력현미경(AFM)、X사선연사(XRD)、사탐침측시의(FPP)연구료SiCN박막적표면형모、물상결구급재Cu/SiCN/Si결구중SiCN박막대동여규적조당성능.결과표명,침적태SiCN박막위무정형적비정결구,정화온도재1000℃이상;SiCN박막작위Cu적확산조당층유교호적열은정성급조당성,조당실효온도재600℃좌우.
