功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
1期
43-47
,共5页
相变氧化钒薄膜%低温热处理%直流对靶磁控溅射
相變氧化釩薄膜%低溫熱處理%直流對靶磁控濺射
상변양화범박막%저온열처리%직류대파자공천사
采用直流对靶磁控溅射氧化钒薄膜再附加热氧化处理的方式进行金属-半导体相变特性氧化钒薄膜的制备,研究了低热处理温度下热处理温度与时间对氧化钒薄膜组分、晶体结构和相变性能的影响.新制备的氧化钒薄膜为V2O3和VO的混合相.经300℃/1h热处理后,薄膜内出现单斜结构VO2,薄膜具有相变特性;保持热处理时间不变,升高热处理温度至360℃,薄膜表面变得致密,致密的薄膜表面阻碍了氧气与薄膜内部V2O3和VO的反应,VO2成分含量与300℃/1h处理时的含量接近;增加热处理温度并延长热处理时间,如热处理条件为320℃/3h时,薄膜内VO2成分大量增多,电阻值变化幅度超过两个数量级;在300～360℃的热处理温度区间内,薄膜内V2O3和VO不断向VO2转变,相变性能变好,但对VO2的单斜金红石结构没有影响.
採用直流對靶磁控濺射氧化釩薄膜再附加熱氧化處理的方式進行金屬-半導體相變特性氧化釩薄膜的製備,研究瞭低熱處理溫度下熱處理溫度與時間對氧化釩薄膜組分、晶體結構和相變性能的影響.新製備的氧化釩薄膜為V2O3和VO的混閤相.經300℃/1h熱處理後,薄膜內齣現單斜結構VO2,薄膜具有相變特性;保持熱處理時間不變,升高熱處理溫度至360℃,薄膜錶麵變得緻密,緻密的薄膜錶麵阻礙瞭氧氣與薄膜內部V2O3和VO的反應,VO2成分含量與300℃/1h處理時的含量接近;增加熱處理溫度併延長熱處理時間,如熱處理條件為320℃/3h時,薄膜內VO2成分大量增多,電阻值變化幅度超過兩箇數量級;在300～360℃的熱處理溫度區間內,薄膜內V2O3和VO不斷嚮VO2轉變,相變性能變好,但對VO2的單斜金紅石結構沒有影響.
채용직류대파자공천사양화범박막재부가열양화처리적방식진행금속-반도체상변특성양화범박막적제비,연구료저열처리온도하열처리온도여시간대양화범박막조분、정체결구화상변성능적영향.신제비적양화범박막위V2O3화VO적혼합상.경300℃/1h열처리후,박막내출현단사결구VO2,박막구유상변특성;보지열처리시간불변,승고열처리온도지360℃,박막표면변득치밀,치밀적박막표면조애료양기여박막내부V2O3화VO적반응,VO2성분함량여300℃/1h처리시적함량접근;증가열처리온도병연장열처리시간,여열처리조건위320℃/3h시,박막내VO2성분대량증다,전조치변화폭도초과량개수량급;재300～360℃적열처리온도구간내,박막내V2O3화VO불단향VO2전변,상변성능변호,단대VO2적단사금홍석결구몰유영향.
