航空学报
航空學報
항공학보
ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA
2008年
6期
1687-1691
,共5页
TiN%薄膜%化学气相沉积%硬度%耐磨性能
TiN%薄膜%化學氣相沉積%硬度%耐磨性能
TiN%박막%화학기상침적%경도%내마성능
采用化学气相沉积的方法制备TiN薄膜,以提高K3镍基高温合金的耐磨性能.以TiCl4和NH3为反应气体,用化学气相沉积法(CVD)在K3镍基高温合金基体上制备了一系列不同温度和沉积时间的TiN薄膜.结果表明,与基体相比,沉积TiN薄膜的样品耐磨性能有显著提高.当沉积温度不变时,TiN薄膜耐磨性能随沉积时间的延长先提高后降低;当沉积时间不变时,薄膜的耐磨性能随沉积温度的升高而提高.化学气相沉积法制备TiN薄膜的最佳工艺条件为600℃/60 min.
採用化學氣相沉積的方法製備TiN薄膜,以提高K3鎳基高溫閤金的耐磨性能.以TiCl4和NH3為反應氣體,用化學氣相沉積法(CVD)在K3鎳基高溫閤金基體上製備瞭一繫列不同溫度和沉積時間的TiN薄膜.結果錶明,與基體相比,沉積TiN薄膜的樣品耐磨性能有顯著提高.噹沉積溫度不變時,TiN薄膜耐磨性能隨沉積時間的延長先提高後降低;噹沉積時間不變時,薄膜的耐磨性能隨沉積溫度的升高而提高.化學氣相沉積法製備TiN薄膜的最佳工藝條件為600℃/60 min.
채용화학기상침적적방법제비TiN박막,이제고K3얼기고온합금적내마성능.이TiCl4화NH3위반응기체,용화학기상침적법(CVD)재K3얼기고온합금기체상제비료일계렬불동온도화침적시간적TiN박막.결과표명,여기체상비,침적TiN박막적양품내마성능유현저제고.당침적온도불변시,TiN박막내마성능수침적시간적연장선제고후강저;당침적시간불변시,박막적내마성능수침적온도적승고이제고.화학기상침적법제비TiN박막적최가공예조건위600℃/60 min.
