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SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2007年
22期
16-17
,共2页
钛酸锶钡%磁控溅射%厚铜膜
鈦痠鍶鋇%磁控濺射%厚銅膜
태산송패%자공천사%후동막
本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜.文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法.
本文採用磁控濺射的方法在鈦痠鍶鋇材料上塗覆金屬銅膜.文章詳細論述瞭濺射金屬銅膜的工藝參數,併就這些參數對所鍍膜層錶麵質量、附著性能和膜均勻性的影響進行瞭分析,指齣瞭穫得優良的厚銅膜層的實現途徑和方法.
본문채용자공천사적방법재태산송패재료상도복금속동막.문장상세논술료천사금속동막적공예삼수,병취저사삼수대소도막층표면질량、부착성능화막균균성적영향진행료분석,지출료획득우량적후동막층적실현도경화방법.
