光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
10期
129-133
,共5页
多孔硅光学微腔%传感器%传输矩阵%Bruggeman介电常数近似理论%毛细冷凝
多孔硅光學微腔%傳感器%傳輸矩陣%Bruggeman介電常數近似理論%毛細冷凝
다공규광학미강%전감기%전수구진%Bruggeman개전상수근사이론%모세냉응
当多孔硅处于有机物蒸汽环境时,由于自身的多孔结构和巨大的比表面积,有机物蒸汽分子将迅速地吸附到多孔硅的表面,并在多孔硅的孔内发生毛细冷凝作用,这将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱透射峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与光子晶体传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的理论传感模型.使用光学实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,证明多孔硅微腔可以实现对有机物蒸汽分子种类的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.
噹多孔硅處于有機物蒸汽環境時,由于自身的多孔結構和巨大的比錶麵積,有機物蒸汽分子將迅速地吸附到多孔硅的錶麵,併在多孔硅的孔內髮生毛細冷凝作用,這將引起多孔硅層有效摺射率的變化,從而導緻多孔硅微腔反射譜透射峰峰位的變化.本文主要利用Bruggeman介電常數近似理論與光子晶體傳輸矩陣的方法,建立瞭多孔硅微腔的理論傳感模型.使用光學實驗裝置對多孔硅微腔進行瞭傳感實驗,證明多孔硅微腔可以實現對有機物蒸汽分子種類的檢測,且分辨率較高,響應時間和恢複時間短,可重複性好.
당다공규처우유궤물증기배경시,유우자신적다공결구화거대적비표면적,유궤물증기분자장신속지흡부도다공규적표면,병재다공규적공내발생모세냉응작용,저장인기다공규층유효절사솔적변화,종이도치다공규미강반사보투사봉봉위적변화.본문주요이용Bruggeman개전상수근사이론여광자정체전수구진적방법,건립료다공규미강적이론전감모형.사용광학실험장치대다공규미강진행료전감실험,증명다공규미강가이실현대유궤물증기분자충류적검측,차분변솔교고,향응시간화회복시간단,가중복성호.
