传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
7期
87-88,92
,共3页
蔡玉丽%丁桂甫%戴旭涵%张丹
蔡玉麗%丁桂甫%戴旭涵%張丹
채옥려%정계보%대욱함%장단
光学器件%光纤连接器阵列%微机电系统%集成制造
光學器件%光纖連接器陣列%微機電繫統%集成製造
광학기건%광섬련접기진렬%미궤전계통%집성제조
一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点.每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积流线型曲面金属镍盖板的组合形成了方便光纤插拔的喇叭口形导引通道和可实现光纤定位及精确自对准的双悬臂梁形夹持通道.采用Ansys软件对双悬臂梁结构在不同的厚度与翘曲位移条件下对光纤产生的压制力进行建模与仿真,并将其与理论分析结果进行比较.成功地将单元扩展成1 ×16阵列,体积仅为6.8 mm ×15.2 mm×0.5 mm,各单元插入损耗约为0.3dB.
一種基于MEMS工藝的硅基陣列化光纖連接器,具有微型化、可集成製造和重複性好等特點.每箇單元利用硅V型槽與其上集成製造的電沉積流線型麯麵金屬鎳蓋闆的組閤形成瞭方便光纖插拔的喇叭口形導引通道和可實現光纖定位及精確自對準的雙懸臂樑形夾持通道.採用Ansys軟件對雙懸臂樑結構在不同的厚度與翹麯位移條件下對光纖產生的壓製力進行建模與倣真,併將其與理論分析結果進行比較.成功地將單元擴展成1 ×16陣列,體積僅為6.8 mm ×15.2 mm×0.5 mm,各單元插入損耗約為0.3dB.
일충기우MEMS공예적규기진렬화광섬련접기,구유미형화、가집성제조화중복성호등특점.매개단원이용규V형조여기상집성제조적전침적류선형곡면금속얼개판적조합형성료방편광섬삽발적나팔구형도인통도화가실현광섬정위급정학자대준적쌍현비량형협지통도.채용Ansys연건대쌍현비량결구재불동적후도여교곡위이조건하대광섬산생적압제력진행건모여방진,병장기여이론분석결과진행비교.성공지장단원확전성1 ×16진렬,체적부위6.8 mm ×15.2 mm×0.5 mm,각단원삽입손모약위0.3dB.
