新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2007年
5期
110-112
,共3页
杨加宏%周明%言峰%郑傲然
楊加宏%週明%言峰%鄭傲然
양가굉%주명%언봉%정오연
软刻蚀%扫描探针刻蚀%复制模塑法%电致刻蚀法
軟刻蝕%掃描探針刻蝕%複製模塑法%電緻刻蝕法
연각식%소묘탐침각식%복제모소법%전치각식법
综述了在微纳加工领域的最新技术发展-软刻蚀技术(soft lithography)和扫描探针刻蚀技术(scanning probe lithogaphy),其中着重描述了软刻蚀技术中的复制模塑技术(replica molding,REM)和扫描探针刻蚀技术中的电致刻蚀加工技术,阐述了它们各自的加工原理和特点,并应用这些技术制作出一些周期性微纳织构表面.
綜述瞭在微納加工領域的最新技術髮展-軟刻蝕技術(soft lithography)和掃描探針刻蝕技術(scanning probe lithogaphy),其中著重描述瞭軟刻蝕技術中的複製模塑技術(replica molding,REM)和掃描探針刻蝕技術中的電緻刻蝕加工技術,闡述瞭它們各自的加工原理和特點,併應用這些技術製作齣一些週期性微納織構錶麵.
종술료재미납가공영역적최신기술발전-연각식기술(soft lithography)화소묘탐침각식기술(scanning probe lithogaphy),기중착중묘술료연각식기술중적복제모소기술(replica molding,REM)화소묘탐침각식기술중적전치각식가공기술,천술료타문각자적가공원리화특점,병응용저사기술제작출일사주기성미납직구표면.
