一种用扫描电镜制作表面纳米结构的方法
일충용소묘전경제작표면납미결구적방법
Fabrication of Surface Nanostructures Using Scanning Electron Microscope
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2006年 z1期 186-188 ,共3页

    朱念麟%张晋%陈尔纲%柏晗%张茜%王光灿%郭俊梅%窦菊英

    주념린%장진%진이강%백함%장천%왕광찬%곽준매%두국영

    数字式扫描电镜%负电压发生器%表面纳米阵列%电子束刻蚀 數字式掃描電鏡%負電壓髮生器%錶麵納米陣列%電子束刻蝕
    수자식소묘전경%부전압발생기%표면납미진렬%전자속각식
    提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负电压发生器,其内阻远小于自偏压电阻;用扫描电镜本身的行扫描时钟信号作为控制信号,经倍频和放大,加到电子枪栅极上控制电子束的通断,使电子束由连续扫描变为规则的点、线扫描,不需用模板即可以"直写"方式在涂有电子束光刻胶(PMMA)的样品上实现点、线曝光,形成周期性量子点、纳米孔和纳米线阵列.
    제출료일충용소묘전경제작표면양자점、납미공화납미선진렬적방법,해방법시재수자식소묘전경적음겁자편압전로중천련일개가공적부전압발생기,기내조원소우자편압전조;용소묘전경본신적행소묘시종신호작위공제신호,경배빈화방대,가도전자창책겁상공제전자속적통단,사전자속유련속소묘변위규칙적점、선소묘,불수용모판즉가이"직사"방식재도유전자속광각효(PMMA)적양품상실현점、선폭광,형성주기성양자점、납미공화납미선진렬.
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