材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
z2期
306-308
,共3页
胡宗倩%谢凯%李德湛%程玉龙
鬍宗倩%謝凱%李德湛%程玉龍
호종천%사개%리덕담%정옥룡
LiPON%固态电解质%薄膜%射频磁控溅射
LiPON%固態電解質%薄膜%射頻磁控濺射
LiPON%고태전해질%박막%사빈자공천사
采用Li3PO4为靶材,在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质LiPON薄膜.结果表明,在溅射功率150W、工作气压为1.5Pa时,LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S/cm,电化学稳定窗口为5V.
採用Li3PO4為靶材,在高純N2氣氛中通過射頻磁控濺射的方法製備瞭非晶態結構的固態電解質LiPON薄膜.結果錶明,在濺射功率150W、工作氣壓為1.5Pa時,LiPON薄膜離子電導率達3×10-6S/cm,電化學穩定窗口為5V.
채용Li3PO4위파재,재고순N2기분중통과사빈자공천사적방법제비료비정태결구적고태전해질LiPON박막.결과표명,재천사공솔150W、공작기압위1.5Pa시,LiPON박막리자전도솔체3×10-6S/cm,전화학은정창구위5V.
