CVD法制备纳米材料用高温真空电阻炉的研制
CVD법제비납미재료용고온진공전조로적연제
Research of High Temperature Vacuum Resistence Furnace Exploited Specially for Processing of Nanomaterial Through CVD Method
  • 万方数据
    工业加热 공업가열
    INDUSTRIIAL HEATING
    2006年 5期 53-54 ,共2页

    李学章%尹中荣%李全旺

    리학장%윤중영%리전왕

    CVD法%真空%高温电阻炉 CVD法%真空%高溫電阻爐
    CVD법%진공%고온전조로
    根据纳米材料CVD法制备工艺的特殊性对设备的苛刻要求,自主设计开发了一台用于纳米粉体制备用的高温真空电阻炉,介绍了该设备的组成结构及其性能特点,论证了该种电阻炉在相关领域内的应用前景.
    근거납미재료CVD법제비공예적특수성대설비적가각요구,자주설계개발료일태용우납미분체제비용적고온진공전조로,개소료해설비적조성결구급기성능특점,론증료해충전조로재상관영역내적응용전경.
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