CAJ | 학술논문

以氯化锶,硝酸铋和钛酸丁酯为原料,柠檬酸为络合剂,乙二醇为交联剂,无水乙醇为钛酸丁酯的溶剂,盐酸为硝酸铋的溶剂,去离子水为氯化锶的溶剂,配制了稳定的SrBi4Ti4O15(SBTi)前驱液.采用溶胶凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了a轴取向增强的SBTi铁电薄膜.研究了一次性晶化快速退火工艺、两层晶化快速退火工艺、逐层晶化快速退火工艺以及成膜次数对薄膜结晶性、微观结构和生长行为的影响.实验结果表明,逐层快速退火工艺可有效抑制焦绿石相的形成;随着涂覆次数的增加,薄膜的结晶性变好;由于SBTi晶体生长的各向异性及单层膜厚对晶体沿(119)方向生长的限制,随着涂覆次数的增加,SBTi薄膜(119)峰和(200)峰的强度逐渐增大,而(00l)峰的强度反而略有减小,从而使I(200)/I(119),I(200)/I(0010),I(119)/I(0010)逐渐增大.
이록화송,초산필화태산정지위원료,저몽산위락합제,을이순위교련제,무수을순위태산정지적용제,염산위초산필적용제,거리자수위록화송적용제,배제료은정적SrBi4Ti4O15(SBTi)전구액.채용용효응효공예,재Pt/Ti/SiO2/Si기편상제비료a축취향증강적SBTi철전박막.연구료일차성정화쾌속퇴화공예、량층정화쾌속퇴화공예、축층정화쾌속퇴화공예이급성막차수대박막결정성、미관결구화생장행위적영향.실험결과표명,축층쾌속퇴화공예가유효억제초록석상적형성;수착도복차수적증가,박막적결정성변호;유우SBTi정체생장적각향이성급단층막후대정체연(119)방향생장적한제,수착도복차수적증가,SBTi박막(119)봉화(200)봉적강도축점증대,이(00l)봉적강도반이략유감소,종이사I(200)/I(119),I(200)/I(0010),I(119)/I(0010)축점증대.