物理学报
物理學報
물이학보
2005年
10期
4944-4948
,共5页
杨武保%范松华%张谷令%马培宁%张守忠%杜健
楊武保%範鬆華%張穀令%馬培寧%張守忠%杜健
양무보%범송화%장곡령%마배저%장수충%두건
非平衡磁控溅射%类金刚石膜%拉曼光谱%红外光谱
非平衡磁控濺射%類金剛石膜%拉曼光譜%紅外光譜
비평형자공천사%류금강석막%랍만광보%홍외광보
利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影响以及溅射粒子的大小、能量、碰撞及沉积过程中的相变机理后认为:溅射粒子越小、与环境气体分子的碰撞次数越多、与衬底相互作用时具有适当动量等,能够有效提高薄膜中sp3杂化碳原子的含量.利用拉曼光谱、纳米力学探针、红外光谱、扫描电镜等分析了所得类金刚石膜的结构、力学及光学性能、表面形貌等特征.结果表明,类金刚石膜中sp3杂化碳原子的含量较高,显微硬度大于11GPa,薄膜光学透过率达到89.4%,折射系数为1.952,沉积速率为0.724μm/h,表面光滑、致密、均匀,不存在明显的晶粒特征.
利用非平衡磁控濺射物理氣相沉積技術製備瞭光滑、緻密、均勻的類金剛石薄膜.分析沉積工藝參數對所得類金剛石薄膜的電學特性的影響以及濺射粒子的大小、能量、踫撞及沉積過程中的相變機理後認為:濺射粒子越小、與環境氣體分子的踫撞次數越多、與襯底相互作用時具有適噹動量等,能夠有效提高薄膜中sp3雜化碳原子的含量.利用拉曼光譜、納米力學探針、紅外光譜、掃描電鏡等分析瞭所得類金剛石膜的結構、力學及光學性能、錶麵形貌等特徵.結果錶明,類金剛石膜中sp3雜化碳原子的含量較高,顯微硬度大于11GPa,薄膜光學透過率達到89.4%,摺射繫數為1.952,沉積速率為0.724μm/h,錶麵光滑、緻密、均勻,不存在明顯的晶粒特徵.
이용비평형자공천사물리기상침적기술제비료광활、치밀、균균적류금강석박막.분석침적공예삼수대소득류금강석박막적전학특성적영향이급천사입자적대소、능량、팽당급침적과정중적상변궤리후인위:천사입자월소、여배경기체분자적팽당차수월다、여츤저상호작용시구유괄당동량등,능구유효제고박막중sp3잡화탄원자적함량.이용랍만광보、납미역학탐침、홍외광보、소묘전경등분석료소득류금강석막적결구、역학급광학성능、표면형모등특정.결과표명,류금강석막중sp3잡화탄원자적함량교고,현미경도대우11GPa,박막광학투과솔체도89.4%,절사계수위1.952,침적속솔위0.724μm/h,표면광활、치밀、균균,불존재명현적정립특정.
