上海师范大学学报（自然科学版）
上海師範大學學報（自然科學版）
상해사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI TEACHERS UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2005年
3期
42-45
,共4页
形状记忆合金%离子束刻蚀%表面形貌
形狀記憶閤金%離子束刻蝕%錶麵形貌
형상기억합금%리자속각식%표면형모
报道了TiNi薄膜的聚焦离子束刻蚀特征及刻蚀后的表面形貌.测量结果表明薄膜的表面粗糙度随刻蚀深度呈非线性变化,当刻蚀深度等于0.1μm时,表面粗糙度为最小(5.26nm,刻蚀前为14.88nm);刻蚀深度小于0.1μm时,表面粗糙度随刻蚀深度的增大而减小;当刻蚀深度大于0.1μm时表面粗糙度随刻蚀深度增大而增大,其原因是刻蚀深度大于0.1μm后表面出现了清晰的周期性条纹结构.此外,表面粗糙度随聚焦离子束流的增大而减小,当离子束流为2.5 nA时,表面粗糙度从刻蚀前的14.88nm减小到4.67nm.
報道瞭TiNi薄膜的聚焦離子束刻蝕特徵及刻蝕後的錶麵形貌.測量結果錶明薄膜的錶麵粗糙度隨刻蝕深度呈非線性變化,噹刻蝕深度等于0.1μm時,錶麵粗糙度為最小(5.26nm,刻蝕前為14.88nm);刻蝕深度小于0.1μm時,錶麵粗糙度隨刻蝕深度的增大而減小;噹刻蝕深度大于0.1μm時錶麵粗糙度隨刻蝕深度增大而增大,其原因是刻蝕深度大于0.1μm後錶麵齣現瞭清晰的週期性條紋結構.此外,錶麵粗糙度隨聚焦離子束流的增大而減小,噹離子束流為2.5 nA時,錶麵粗糙度從刻蝕前的14.88nm減小到4.67nm.
보도료TiNi박막적취초리자속각식특정급각식후적표면형모.측량결과표명박막적표면조조도수각식심도정비선성변화,당각식심도등우0.1μm시,표면조조도위최소(5.26nm,각식전위14.88nm);각식심도소우0.1μm시,표면조조도수각식심도적증대이감소;당각식심도대우0.1μm시표면조조도수각식심도증대이증대,기원인시각식심도대우0.1μm후표면출현료청석적주기성조문결구.차외,표면조조도수취초리자속류적증대이감소,당리자속류위2.5 nA시,표면조조도종각식전적14.88nm감소도4.67nm.
