物理学报
物理學報
물이학보
2004年
1期
311-315
,共5页
电子束蒸发反应%MgxZn1-xO晶体薄膜%结构和光学性能
電子束蒸髮反應%MgxZn1-xO晶體薄膜%結構和光學性能
전자속증발반응%MgxZn1-xO정체박막%결구화광학성능
在白宝石(sapphire)衬底上低温外延生长出了MgxZn1-xO晶体薄膜.x射线衍射(XRD)及能量色散x射线(EDX)分析表明,MgxZn1-xO薄膜的晶体结构依赖于薄膜中Mg的组分x,随着Mg组分的增大,MgxZn1-xO薄膜的结构从与ZnO晶体一致的六方结构转变为与MgO晶体一致的立方结构.对MgxZn1-xO薄膜的紫外透射光谱及紫外光致荧光谱(UVPL)的分析表明,随着Mg组分的增大,光学吸收边产生明显的蓝移,表明MgxZn1-xO晶体薄膜的带隙增大,且带隙连续可调.吸收光谱和XRD测量显示,带隙高达5.65eV的MgxZn1-xO晶体薄膜与MgO之间的晶格失配仅为0.16%.
在白寶石(sapphire)襯底上低溫外延生長齣瞭MgxZn1-xO晶體薄膜.x射線衍射(XRD)及能量色散x射線(EDX)分析錶明,MgxZn1-xO薄膜的晶體結構依賴于薄膜中Mg的組分x,隨著Mg組分的增大,MgxZn1-xO薄膜的結構從與ZnO晶體一緻的六方結構轉變為與MgO晶體一緻的立方結構.對MgxZn1-xO薄膜的紫外透射光譜及紫外光緻熒光譜(UVPL)的分析錶明,隨著Mg組分的增大,光學吸收邊產生明顯的藍移,錶明MgxZn1-xO晶體薄膜的帶隙增大,且帶隙連續可調.吸收光譜和XRD測量顯示,帶隙高達5.65eV的MgxZn1-xO晶體薄膜與MgO之間的晶格失配僅為0.16%.
재백보석(sapphire)츤저상저온외연생장출료MgxZn1-xO정체박막.x사선연사(XRD)급능량색산x사선(EDX)분석표명,MgxZn1-xO박막적정체결구의뢰우박막중Mg적조분x,수착Mg조분적증대,MgxZn1-xO박막적결구종여ZnO정체일치적륙방결구전변위여MgO정체일치적립방결구.대MgxZn1-xO박막적자외투사광보급자외광치형광보(UVPL)적분석표명,수착Mg조분적증대,광학흡수변산생명현적람이,표명MgxZn1-xO정체박막적대극증대,차대극련속가조.흡수광보화XRD측량현시,대극고체5.65eV적MgxZn1-xO정체박막여MgO지간적정격실배부위0.16%.