压控式毫米波MEMS移相器的可动薄膜
압공식호미파MEMS이상기적가동박막
Study of MEMS RF Switches Array Membrane--Millimeter Wave Phase Shifter
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2003年 6期 631-636 ,共6页

    郭方敏%朱自强%赖宗声%朱守正%朱荣锦%忻佩胜%范忠%贾铭%程知群%杨根庆

    곽방민%주자강%뢰종성%주수정%주영금%흔패성%범충%가명%정지군%양근경

    RF MEMS开关%移相器%下拉电压%铝硅合金 RF MEMS開關%移相器%下拉電壓%鋁硅閤金
    RF MEMS개관%이상기%하랍전압%려규합금
    介绍了采用金、铝硅合金等金属分别用作压控式RF MEMS开关阵列--移相器的可动薄膜,实验表明金的延展性比较好,弹性比铝硅合金稍差,启动电压较高.相比较含硅4%的轻质量铝硅合金具有较低的启动电压(5V),用该弹性膜制备的21桥压控式开关阵列--毫米波移相器的下拉电压为20V时,相移量可达到370°/3.5mm以上(35GHz),并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量,其传输损耗为55～90°/dB,比金可动膜结构要高.
    개소료채용금、려규합금등금속분별용작압공식RF MEMS개관진렬--이상기적가동박막,실험표명금적연전성비교호,탄성비려규합금초차,계동전압교고.상비교함규4%적경질량려규합금구유교저적계동전압(5V),용해탄성막제비적21교압공식개관진렬--호미파이상기적하랍전압위20V시,상이량가체도370°/3.5mm이상(35GHz),병능재불동적공제전압하근거요구개변상이량,기전수손모위55～90°/dB,비금가동막결구요고.
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