真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
4期
264-270
,共7页
碳纳米管%化学气相催化法%原位制备纳米器件
碳納米管%化學氣相催化法%原位製備納米器件
탄납미관%화학기상최화법%원위제비납미기건
本文系统地讨论了化学气相催化法制备碳纳米管的工艺过程.讨论了化学气相催化法原位制备碳纳米管器件的技术,即先制备电极和催化剂结构,然后在电极上原位生长碳纳米管.与目前通常采用的先制备碳纳米管,然后超声分离、沉积,再光刻、蒸发制备电极的方法相比,该方法可以减少后处理工艺对碳纳米管结构带来的损伤,具有潜在的优势.
本文繫統地討論瞭化學氣相催化法製備碳納米管的工藝過程.討論瞭化學氣相催化法原位製備碳納米管器件的技術,即先製備電極和催化劑結構,然後在電極上原位生長碳納米管.與目前通常採用的先製備碳納米管,然後超聲分離、沉積,再光刻、蒸髮製備電極的方法相比,該方法可以減少後處理工藝對碳納米管結構帶來的損傷,具有潛在的優勢.
본문계통지토론료화학기상최화법제비탄납미관적공예과정.토론료화학기상최화법원위제비탄납미관기건적기술,즉선제비전겁화최화제결구,연후재전겁상원위생장탄납미관.여목전통상채용적선제비탄납미관,연후초성분리、침적,재광각、증발제비전겁적방법상비,해방법가이감소후처리공예대탄납미관결구대래적손상,구유잠재적우세.
