中国民航学院学报
中國民航學院學報
중국민항학원학보
JOURNAL OF CIVIL AVIATION UNIVERSITY OF CHINA
2003年
3期
10-13
,共4页
人工金属多层膜的超晶格结构%X-射线小角反射%扩展了的光学模型
人工金屬多層膜的超晶格結構%X-射線小角反射%擴展瞭的光學模型
인공금속다층막적초정격결구%X-사선소각반사%확전료적광학모형
用高分辨的三晶体X-射线衍射仪测量了Zr、Cu金属交替的多层膜的X-射线小角反射谱.用扩展了的Born-Wolf光学模型对Zr、Cu多层膜的X-射线小角反射数据进行了定量分析.结果表明,该金属多层膜在其生长方向具有超晶格结构.在两层金属膜之间的界面上,由于内扩散,形成了界面交混层,它使X-射线小角反射所产生的高阶Bragg峰的强度减弱.由于两种金属膜的晶格不匹配,使高阶Bragg峰加宽.界面的粗糙度可用来模拟X-射线小角反射曲线的阻尼振荡效应.
用高分辨的三晶體X-射線衍射儀測量瞭Zr、Cu金屬交替的多層膜的X-射線小角反射譜.用擴展瞭的Born-Wolf光學模型對Zr、Cu多層膜的X-射線小角反射數據進行瞭定量分析.結果錶明,該金屬多層膜在其生長方嚮具有超晶格結構.在兩層金屬膜之間的界麵上,由于內擴散,形成瞭界麵交混層,它使X-射線小角反射所產生的高階Bragg峰的彊度減弱.由于兩種金屬膜的晶格不匹配,使高階Bragg峰加寬.界麵的粗糙度可用來模擬X-射線小角反射麯線的阻尼振盪效應.
용고분변적삼정체X-사선연사의측량료Zr、Cu금속교체적다층막적X-사선소각반사보.용확전료적Born-Wolf광학모형대Zr、Cu다층막적X-사선소각반사수거진행료정량분석.결과표명,해금속다층막재기생장방향구유초정격결구.재량층금속막지간적계면상,유우내확산,형성료계면교혼층,타사X-사선소각반사소산생적고계Bragg봉적강도감약.유우량충금속막적정격불필배,사고계Bragg봉가관.계면적조조도가용래모의X-사선소각반사곡선적조니진탕효응.
