电容式多孔硅湿敏元件初探
전용식다공규습민원건초탐
  • 万方数据
    计测技术 계측기술
    METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
    2006年 z1期 62-64 ,共3页

    涂楚辙%杨勇兵%贾振红%黄晓辉%李新刚%向梅

    도초철%양용병%가진홍%황효휘%리신강%향매

    多孔硅湿敏元件%湿敏特性%湿滞 多孔硅濕敏元件%濕敏特性%濕滯
    다공규습민원건%습민특성%습체
    阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16%RH～68.86%RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞.
    천술료전용식다공규습민원건적제비방법,병차연구료타적습민특성.실험결과표명:전용식다공규습민원건적전용치수착습도적증대이현저증대,재중습구(43.16%RH～68.86%RH)용습특성위선성,이차유교소적습체.
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