仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2000年
8期
35-38
,共4页
耿世钧%刘伟玲%张津春%郑志敏%赵海文
耿世鈞%劉偉玲%張津春%鄭誌敏%趙海文
경세균%류위령%장진춘%정지민%조해문
克重计%单片式电容传感器%调幅运算法%虚拟仪器平台%动态自校零
剋重計%單片式電容傳感器%調幅運算法%虛擬儀器平檯%動態自校零
극중계%단편식전용전감기%조폭운산법%허의의기평태%동태자교령
用照像、制版和腐蚀的方法制造一种三极板单片式电容传感器,用于在介质薄膜的生产线上动态测厚.由于这种新型传感器可以沿导轨在水平方向上往复位移,所以在被测薄膜的幅宽方向上可以实现多点巡回检测.用这种传感器研制的全电子式克重计使用了虚拟仪器平台,利用图形化语言和若干个软件包,在计算机上强化了仪器的动态自校零功能,改善了整机非线性特性,简化了底层软件开发过程.
用照像、製版和腐蝕的方法製造一種三極闆單片式電容傳感器,用于在介質薄膜的生產線上動態測厚.由于這種新型傳感器可以沿導軌在水平方嚮上往複位移,所以在被測薄膜的幅寬方嚮上可以實現多點巡迴檢測.用這種傳感器研製的全電子式剋重計使用瞭虛擬儀器平檯,利用圖形化語言和若榦箇軟件包,在計算機上彊化瞭儀器的動態自校零功能,改善瞭整機非線性特性,簡化瞭底層軟件開髮過程.
용조상、제판화부식적방법제조일충삼겁판단편식전용전감기,용우재개질박막적생산선상동태측후.유우저충신형전감기가이연도궤재수평방향상왕복위이,소이재피측박막적폭관방향상가이실현다점순회검측.용저충전감기연제적전전자식극중계사용료허의의기평태,이용도형화어언화약간개연건포,재계산궤상강화료의기적동태자교령공능,개선료정궤비선성특성,간화료저층연건개발과정.
