真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
1期
42-45
,共4页
刘洪%蒲朝辉%龚小刚%张振宁%肖定全%朱建国
劉洪%蒲朝輝%龔小剛%張振寧%肖定全%硃建國
류홍%포조휘%공소강%장진저%초정전%주건국
基底%掺镧钛酸铅%铁电薄膜%制备
基底%摻鑭鈦痠鉛%鐵電薄膜%製備
기저%참란태산연%철전박막%제비
采用射频磁控溅射技术,使用相同的工艺条件在Si(100)基底和Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上生长了掺镧钛酸铅[(Pb0.9,La0.1)TiO3,PLT10]铁电薄膜.采用常规热处理工艺对两种基底上生长的PLT铁电薄膜在相同条件下进行了退火.用原子力显微镜(AFM)观察PLT薄膜的表面形貌.用X射线衍射技术(XRD)研究PLT薄膜结晶性能.XRD图谱表明硅基底上的PLT在晶化后,各主要晶面的衍射峰均出现,取向呈现多样化;而在铂上的PLT在晶化后,只出现了(111)晶面衍射峰和(222)晶面衍射峰,取向是单一的〈111〉方向.通过对XRD的数据计算可知,在相同条件下退火的PLT薄膜,在铂上的PLT的晶粒尺寸大于在硅基底上的PLT的晶粒尺寸.晶粒尺寸的差异反应出了由于基底的影响而造成薄膜晶化过程中成核方式的差异.
採用射頻磁控濺射技術,使用相同的工藝條件在Si(100)基底和Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上生長瞭摻鑭鈦痠鉛[(Pb0.9,La0.1)TiO3,PLT10]鐵電薄膜.採用常規熱處理工藝對兩種基底上生長的PLT鐵電薄膜在相同條件下進行瞭退火.用原子力顯微鏡(AFM)觀察PLT薄膜的錶麵形貌.用X射線衍射技術(XRD)研究PLT薄膜結晶性能.XRD圖譜錶明硅基底上的PLT在晶化後,各主要晶麵的衍射峰均齣現,取嚮呈現多樣化;而在鉑上的PLT在晶化後,隻齣現瞭(111)晶麵衍射峰和(222)晶麵衍射峰,取嚮是單一的〈111〉方嚮.通過對XRD的數據計算可知,在相同條件下退火的PLT薄膜,在鉑上的PLT的晶粒呎吋大于在硅基底上的PLT的晶粒呎吋.晶粒呎吋的差異反應齣瞭由于基底的影響而造成薄膜晶化過程中成覈方式的差異.
채용사빈자공천사기술,사용상동적공예조건재Si(100)기저화Pt/Ti/SiO2/Si(100)기저상생장료참란태산연[(Pb0.9,La0.1)TiO3,PLT10]철전박막.채용상규열처리공예대량충기저상생장적PLT철전박막재상동조건하진행료퇴화.용원자력현미경(AFM)관찰PLT박막적표면형모.용X사선연사기술(XRD)연구PLT박막결정성능.XRD도보표명규기저상적PLT재정화후,각주요정면적연사봉균출현,취향정현다양화;이재박상적PLT재정화후,지출현료(111)정면연사봉화(222)정면연사봉,취향시단일적〈111〉방향.통과대XRD적수거계산가지,재상동조건하퇴화적PLT박막,재박상적PLT적정립척촌대우재규기저상적PLT적정립척촌.정립척촌적차이반응출료유우기저적영향이조성박막정화과정중성핵방식적차이.
