CAJ | 학술논문

纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心.纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一,其制作技术是整个纳米技术的核心基础,已成为当前世界科学研究急需解决的问题.文章针对目前的科技发展情况,介绍了几种纳米光刻技术的实现新途径、发展现状和关键问题.详细阐述了波前工程、电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻、原子光刻、干涉光刻、极紫外光刻以及157光刻的原理和实现难点.作为下一代各种光刻技术,它们都有望实现纳米量级的图形,但各种技术可实现的分辨力极限有所不同.50nm以上分辨力可以用193nm光刻结合波前工程和干涉光刻实现.50nm左右的分辨力可用极紫外光刻、157光刻和126nm光刻实现.而电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻、原子光刻则可望实现几个纳米的分辨力.但是这些技术的完善还有待于诸如光学系统、抗蚀剂、精密控制等等相关技术的成熟.文章还讨论了纳米光刻技术的应用前景.
납미과학기술장성위신세기신식시대적핵심.납미량급결구작위연구미관양자세계적중요기출지일,기제작기술시정개납미기술적핵심기출,이성위당전세계과학연구급수해결적문제.문장침대목전적과기발전정황,개소료궤충납미광각기술적실현신도경、발전현상화관건문제.상세천술료파전공정、전자속광각、리자속광각、X사선광각、원자광각、간섭광각、겁자외광각이급157광각적원리화실현난점.작위하일대각충광각기술,타문도유망실현납미량급적도형,단각충기술가실현적분변력겁한유소불동.50nm이상분변력가이용193nm광각결합파전공정화간섭광각실현.50nm좌우적분변력가용겁자외광각、157광각화126nm광각실현.이전자속광각、리자속광각、X사선광각、원자광각칙가망실현궤개납미적분변력.단시저사기술적완선환유대우제여광학계통、항식제、정밀공제등등상관기술적성숙.문장환토론료납미광각기술적응용전경.