无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
1999年
1期
107-113
,共7页
曾晟%丁爱丽%仇萍荪%何夕云%罗维根
曾晟%丁愛麗%仇萍蓀%何夕雲%囉維根
증성%정애려%구평손%하석운%라유근
射频磁控溅射%铁电薄膜%烧绿石相%钙钛矿相
射頻磁控濺射%鐵電薄膜%燒綠石相%鈣鈦礦相
사빈자공천사%철전박막%소록석상%개태광상
采用射频磁控溅射工艺,在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用PZT(53/47)陶瓷靶制备铁电薄膜.用快速光热退火炉对原位沉积的薄膜进行RTA处理.薄膜的相结构由XRD确定.通过改变氩气和氧气的比例以及衬底温度,研究了溅射气氛和衬底温度对PZT铁电薄膜结构的影响.实验表明,在不同的溅射气氛和衬底温度条件下,薄膜会经历不同的相变过程.用RT66A标准铁电测试设备测量了薄膜的铁电性能,在外加电压为5V时,Pr=14.6uC/cm2,Ec=82.9kV/cm.
採用射頻磁控濺射工藝,在(111)Pt/Ti/SiO2/Si襯底上用PZT(53/47)陶瓷靶製備鐵電薄膜.用快速光熱退火爐對原位沉積的薄膜進行RTA處理.薄膜的相結構由XRD確定.通過改變氬氣和氧氣的比例以及襯底溫度,研究瞭濺射氣氛和襯底溫度對PZT鐵電薄膜結構的影響.實驗錶明,在不同的濺射氣氛和襯底溫度條件下,薄膜會經歷不同的相變過程.用RT66A標準鐵電測試設備測量瞭薄膜的鐵電性能,在外加電壓為5V時,Pr=14.6uC/cm2,Ec=82.9kV/cm.
채용사빈자공천사공예,재(111)Pt/Ti/SiO2/Si츤저상용PZT(53/47)도자파제비철전박막.용쾌속광열퇴화로대원위침적적박막진행RTA처리.박막적상결구유XRD학정.통과개변아기화양기적비례이급츤저온도,연구료천사기분화츤저온도대PZT철전박막결구적영향.실험표명,재불동적천사기분화츤저온도조건하,박막회경력불동적상변과정.용RT66A표준철전측시설비측량료박막적철전성능,재외가전압위5V시,Pr=14.6uC/cm2,Ec=82.9kV/cm.
