激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2003年
1期
29-31
,共3页
卢向东%傅克祥%王植恒%麻建勇
盧嚮東%傅剋祥%王植恆%痳建勇
로향동%부극상%왕식항%마건용
椭偏测量术%正弦形光栅%正单纯形法
橢偏測量術%正絃形光柵%正單純形法
타편측량술%정현형광책%정단순형법
提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种光栅模型,计算出不同入射角的椭偏参数(Δ,Ψ),然后加入偏差量不同的高斯噪声,把加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值,采用正单纯形法进行求解.验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值.反演结果表明,在扩大搜索范围时,仍可以在一定精度范围内得到准确解,这就在理论上验证了用椭偏仪测试光栅参数的可行性.
提齣一種新的光柵測試方法--利用橢偏儀測量光柵的基本參數,同時將求解優化問題的正單純形法用來反縯光柵的橢偏方程.首先假設一種光柵模型,計算齣不同入射角的橢偏參數(Δ,Ψ),然後加入偏差量不同的高斯譟聲,把加入譟聲後的值(Δm,Ψm)作為模擬測量值,採用正單純形法進行求解.驗證得知由這種方法求得的光柵參數接近假設的光柵參數值.反縯結果錶明,在擴大搜索範圍時,仍可以在一定精度範圍內得到準確解,這就在理論上驗證瞭用橢偏儀測試光柵參數的可行性.
제출일충신적광책측시방법--이용타편의측량광책적기본삼수,동시장구해우화문제적정단순형법용래반연광책적타편방정.수선가설일충광책모형,계산출불동입사각적타편삼수(Δ,Ψ),연후가입편차량불동적고사조성,파가입조성후적치(Δm,Ψm)작위모의측량치,채용정단순형법진행구해.험증득지유저충방법구득적광책삼수접근가설적광책삼수치.반연결과표명,재확대수색범위시,잉가이재일정정도범위내득도준학해,저취재이론상험증료용타편의측시광책삼수적가행성.
