功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
1期
39-42
,共4页
薄膜电感%栅极型%磁控溅射%品质因数
薄膜電感%柵極型%磁控濺射%品質因數
박막전감%책겁형%자공천사%품질인수
采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数( Q值)在 100MHz- 10GHz范围的频谱特性.在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其 数值分别为 130 nH, 155nH;电阻在 6GHz以下也保持平稳,分别为 31Ω, 51Ω, 在这个频率以上,由 于高频趋肤效应而有一定的增大; Q值在 1- 6GHz之间在 20 以上, 并且在 6GHz附近分别达到最 大值 160和 110.在 100MHz- 10GHz范围内 ,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要.
採用掩膜方法製備瞭柵極型薄膜電感,併測試瞭這些薄膜電感的電感值和品質因數( Q值)在 100MHz- 10GHz範圍的頻譜特性.在此頻率範圍內,兩種樣品的電感值顯示瞭平穩的頻率特性,其 數值分彆為 130 nH, 155nH;電阻在 6GHz以下也保持平穩,分彆為 31Ω, 51Ω, 在這箇頻率以上,由 于高頻趨膚效應而有一定的增大; Q值在 1- 6GHz之間在 20 以上, 併且在 6GHz附近分彆達到最 大值 160和 110.在 100MHz- 10GHz範圍內 ,這些電學參量的頻譜特性符閤實際應用的需要.
채용엄막방법제비료책겁형박막전감,병측시료저사박막전감적전감치화품질인수( Q치)재 100MHz- 10GHz범위적빈보특성.재차빈솔범위내,량충양품적전감치현시료평은적빈솔특성,기 수치분별위 130 nH, 155nH;전조재 6GHz이하야보지평은,분별위 31Ω, 51Ω, 재저개빈솔이상,유 우고빈추부효응이유일정적증대; Q치재 1- 6GHz지간재 20 이상, 병차재 6GHz부근분별체도최 대치 160화 110.재 100MHz- 10GHz범위내 ,저사전학삼량적빈보특성부합실제응용적수요.
