物理学报
物理學報
물이학보
2002年
7期
1506-1511
,共6页
背散射电子%Monte Carlo方法,超薄膜
揹散射電子%Monte Carlo方法,超薄膜
배산사전자%Monte Carlo방법,초박막
应用Monte Carlo方法模拟千电子伏低能束作用下,不同衬底上不同薄膜背散射电子发射. 应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射,引入边界方程,修正穿越薄膜与衬底界面的电子散射路径. 计算分析了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D 的变化和规律,以及不同情况下η-D 线性区范围的分布及其定量结果 D max. 计算了背散射电子角分布和空间密度分布.
應用Monte Carlo方法模擬韆電子伏低能束作用下,不同襯底上不同薄膜揹散射電子髮射. 應用Mott散射截麵和Joy方法脩正的Bethe方程描述和計算低能電子在固體中彈性和非彈性散射,引入邊界方程,脩正穿越薄膜與襯底界麵的電子散射路徑. 計算分析瞭薄膜揹散射繫數η隨薄膜厚度D 的變化和規律,以及不同情況下η-D 線性區範圍的分佈及其定量結果 D max. 計算瞭揹散射電子角分佈和空間密度分佈.
응용Monte Carlo방법모의천전자복저능속작용하,불동츤저상불동박막배산사전자발사. 응용Mott산사절면화Joy방법수정적Bethe방정묘술화계산저능전자재고체중탄성화비탄성산사,인입변계방정,수정천월박막여츤저계면적전자산사로경. 계산분석료박막배산사계수η수박막후도D 적변화화규률,이급불동정황하η-D 선성구범위적분포급기정량결과 D max. 계산료배산사전자각분포화공간밀도분포.
