合肥工业大学学报(自然科学版)
閤肥工業大學學報(自然科學版)
합비공업대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2002年
4期
595-598
,共4页
方应翠%张晓东%辜学茂%王小明%何也熙
方應翠%張曉東%辜學茂%王小明%何也熙
방응취%장효동%고학무%왕소명%하야희
硼碳膜%等离子体轰击%XPS分析
硼碳膜%等離子體轟擊%XPS分析
붕탄막%등리자체굉격%XPS분석
通常在托卡马克第一壁沉积1层硼碳膜,以降低托卡马克等离子体的氧杂质.现在HT-7第一壁位置处放置几个石墨和不锈钢基体样品,与H T-7一起硼化,硼化后取出部分样品膜, 剩余样品留在真空室接受聚变等离子体的轰击, 通过对鲜膜和轰击膜进行XPS分析, 发现膜由硼、碳、氧和铁等元素组成,并在膜深度方向上均匀分布,在成膜及等离子体轰击过程中,膜对氧有强吸收.
通常在託卡馬剋第一壁沉積1層硼碳膜,以降低託卡馬剋等離子體的氧雜質.現在HT-7第一壁位置處放置幾箇石墨和不鏽鋼基體樣品,與H T-7一起硼化,硼化後取齣部分樣品膜, 剩餘樣品留在真空室接受聚變等離子體的轟擊, 通過對鮮膜和轟擊膜進行XPS分析, 髮現膜由硼、碳、氧和鐵等元素組成,併在膜深度方嚮上均勻分佈,在成膜及等離子體轟擊過程中,膜對氧有彊吸收.
통상재탁잡마극제일벽침적1층붕탄막,이강저탁잡마극등리자체적양잡질.현재HT-7제일벽위치처방치궤개석묵화불수강기체양품,여H T-7일기붕화,붕화후취출부분양품막, 잉여양품류재진공실접수취변등리자체적굉격, 통과대선막화굉격막진행XPS분석, 발현막유붕、탄、양화철등원소조성,병재막심도방향상균균분포,재성막급등리자체굉격과정중,막대양유강흡수.
