新疆大学学报(自然科学版)
新疆大學學報(自然科學版)
신강대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF XINJIANG UNIVERSITY
2002年
1期
1-5
,共5页
马忠权%徐少辉%郑毓峰%简基康%李冬来
馬忠權%徐少輝%鄭毓峰%簡基康%李鼕來
마충권%서소휘%정육봉%간기강%리동래
共溅射%Cu-In合金膜%结构%电学性质%费-桑理论%临界厚度
共濺射%Cu-In閤金膜%結構%電學性質%費-桑理論%臨界厚度
공천사%Cu-In합금막%결구%전학성질%비-상이론%림계후도
采用共溅射方法制备了Cu-In合金膜,并讨论了Cu-In合金膜的结构、电学性能以及溅射时间对Cu-In合金膜的结构及电学性能的影响.结果显示,Cu-In合金膜仅有单峰,多晶晶面间距不随着膜厚的增加而改变.用费-桑理论对Cu-In合金薄膜的电学性质进行了分析,临界厚度的讨论结果表明,溅射3～4min是面电阻的转变点,而电学参数分析也给出相同的结果.
採用共濺射方法製備瞭Cu-In閤金膜,併討論瞭Cu-In閤金膜的結構、電學性能以及濺射時間對Cu-In閤金膜的結構及電學性能的影響.結果顯示,Cu-In閤金膜僅有單峰,多晶晶麵間距不隨著膜厚的增加而改變.用費-桑理論對Cu-In閤金薄膜的電學性質進行瞭分析,臨界厚度的討論結果錶明,濺射3～4min是麵電阻的轉變點,而電學參數分析也給齣相同的結果.
채용공천사방법제비료Cu-In합금막,병토론료Cu-In합금막적결구、전학성능이급천사시간대Cu-In합금막적결구급전학성능적영향.결과현시,Cu-In합금막부유단봉,다정정면간거불수착막후적증가이개변.용비-상이론대Cu-In합금박막적전학성질진행료분석,림계후도적토론결과표명,천사3～4min시면전조적전변점,이전학삼수분석야급출상동적결과.
