Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法
Lock-in용우무손현미분층내규투시집성전로법
Application of Lock-in for Method of Lossless Internal Microtomograph Visualization Testing Multilayer IC
  • 万方数据
    数据采集与处理 수거채집여처리
    JOURNAL OF DATA ACQUISITION & PROCESSING
    2001年 z1期 112-115 ,共4页

    王建%李亚文%肖玲%梁竹关%周开邻%李萍%徐晓华%胡问国%Рау З И

    왕건%리아문%초령%량죽관%주개린%리평%서효화%호문국%Рау З И

    扫描电子显微镜%电子束%非接触无损%显微分层内窥透视检测法%半导体和多层结构集成电路%分层的微结构和缺陷%锁相放大器 掃描電子顯微鏡%電子束%非接觸無損%顯微分層內窺透視檢測法%半導體和多層結構集成電路%分層的微結構和缺陷%鎖相放大器
    소묘전자현미경%전자속%비접촉무손%현미분층내규투시검측법%반도체화다층결구집성전로%분층적미결구화결함%쇄상방대기
    提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时,还介绍了Lock-in在此新检测法中的应用
    제출일충신적소묘전자현미경전자속비접촉무손현미분층내규투시반도체화다층결구집성전로표면층하아표면층내반도체적결함화다층결구집성전로미결구적검측법(간칭분층법)화용차법소관측도적분층내규투시적도상.동시,환개소료Lock-in재차신검측법중적응용
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