人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2002年
2期
158-163
,共6页
韩毅松%玄真武%刘尔凯%侯立
韓毅鬆%玄真武%劉爾凱%侯立
한의송%현진무%류이개%후립
纳米金刚石%化学气相沉积%CVD金刚石
納米金剛石%化學氣相沉積%CVD金剛石
납미금강석%화학기상침적%CVD금강석
以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用.当晶粒组成降到纳米级时,金刚石膜会表现出许多优异的性能,具有广阔的应用前景.与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用.纳米金刚石的鉴定和评价是纳米金刚石研究中的重要部分.
以氫氣為主要反應氣體生長的CVD金剛石膜的晶粒呎吋過大限製瞭它在某些領域的進一步應用.噹晶粒組成降到納米級時,金剛石膜會錶現齣許多優異的性能,具有廣闊的應用前景.與通常的CVD法生長金剛石的工藝不同,氬氣在納米金剛石的生長過程中髮揮著重要作用.納米金剛石的鑒定和評價是納米金剛石研究中的重要部分.
이경기위주요반응기체생장적CVD금강석막적정립척촌과대한제료타재모사영역적진일보응용.당정립조성강도납미급시,금강석막회표현출허다우이적성능,구유엄활적응용전경.여통상적CVD법생장금강석적공예불동,아기재납미금강석적생장과정중발휘착중요작용.납미금강석적감정화평개시납미금강석연구중적중요부분.
