功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
3期
446-448,452
,共4页
韩东麟%张弓%庄大明%沙晟春%元金石
韓東麟%張弓%莊大明%沙晟春%元金石
한동린%장궁%장대명%사성춘%원금석
太阳能电池%CIGS%磁控溅射%薄膜%硒化
太暘能電池%CIGS%磁控濺射%薄膜%硒化
태양능전지%CIGS%자공천사%박막%서화
采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜.以N2为载气,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了N2流量对CIGS薄膜结构和形貌的影响.采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构.结果表明,在不同的N2流量下制备的CIGS薄膜,均具有单一的黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向.当Ar流量为0.40m3/h时,薄膜表面结构致密,晶粒大小均匀,并且Cu、In、Ga原子含量,处于制备弱p型CIGS薄膜的理想范围.
採用中頻交流磁控濺射方法,在Mo層上沉積瞭CuInGa(CIG)預製膜.以N2為載氣,採用固態硒化法製備穫得瞭Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收層薄膜,攷察瞭N2流量對CIGS薄膜結構和形貌的影響.採用SEM和EDS觀察和分析瞭薄膜的錶麵形貌和成分,採用XRD錶徵瞭薄膜的組織結構.結果錶明,在不同的N2流量下製備的CIGS薄膜,均具有單一的黃銅礦相結構,薄膜具有(112)麵的擇優取嚮.噹Ar流量為0.40m3/h時,薄膜錶麵結構緻密,晶粒大小均勻,併且Cu、In、Ga原子含量,處于製備弱p型CIGS薄膜的理想範圍.
채용중빈교류자공천사방법,재Mo층상침적료CuInGa(CIG)예제막.이N2위재기,채용고태서화법제비획득료Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)흡수층박막,고찰료N2류량대CIGS박막결구화형모적영향.채용SEM화EDS관찰화분석료박막적표면형모화성분,채용XRD표정료박막적조직결구.결과표명,재불동적N2류량하제비적CIGS박막,균구유단일적황동광상결구,박막구유(112)면적택우취향.당Ar류량위0.40m3/h시,박막표면결구치밀,정립대소균균,병차Cu、In、Ga원자함량,처우제비약p형CIGS박막적이상범위.
