微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
7期
31-34
,共4页
微电子机械系统%冲击%可靠性%可靠性设计
微電子機械繫統%遲擊%可靠性%可靠性設計
미전자궤계계통%충격%가고성%가고성설계
MEMS器件在制造、运输和使用过程中不可避免地受到不同程度的冲击作用,分析和认识MEMS器件在冲击下的响应和失效模式,对提高器件的耐冲击和可靠性具有一定的指导意义.本文综述了MEMS器件的冲击测试和理论分析方法,对MEMS器件的可靠性设计具有一定参考价值.
MEMS器件在製造、運輸和使用過程中不可避免地受到不同程度的遲擊作用,分析和認識MEMS器件在遲擊下的響應和失效模式,對提高器件的耐遲擊和可靠性具有一定的指導意義.本文綜述瞭MEMS器件的遲擊測試和理論分析方法,對MEMS器件的可靠性設計具有一定參攷價值.
MEMS기건재제조、운수화사용과정중불가피면지수도불동정도적충격작용,분석화인식MEMS기건재충격하적향응화실효모식,대제고기건적내충격화가고성구유일정적지도의의.본문종술료MEMS기건적충격측시화이론분석방법,대MEMS기건적가고성설계구유일정삼고개치.
