光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
12期
1892-1895
,共4页
X射线光学%多层膜%单色性%反射率
X射線光學%多層膜%單色性%反射率
X사선광학%다층막%단색성%반사솔
多层膜界面粗糙度、入射光单色性对软X射线多层膜实际反射率均有影响.利用数学卷积积分,理论上推导出一个在入射光不同单色性下精确计算多层膜反射率的公式.利用给出的理论计算公式,简要分析了入射光不同单色性、不同界面粗糙度对M0/Si多层膜反射率的影响.理论分析发现这两种因素对Mo/Si多层膜反射率影响完全不同:入射光低的单色性不但极大降低Mo/Si多层膜峰值反射率,而且使反射曲线的半峰全宽增加;而界面粗糙度是降低Mo/Si多层膜反射曲线上各点对应值,基本不改变Mo/Si反射曲线的半峰全宽,不改变反射曲线的形状.说明这两个因素在软X射线的长波段对多层膜反射性能的影响不同.
多層膜界麵粗糙度、入射光單色性對軟X射線多層膜實際反射率均有影響.利用數學捲積積分,理論上推導齣一箇在入射光不同單色性下精確計算多層膜反射率的公式.利用給齣的理論計算公式,簡要分析瞭入射光不同單色性、不同界麵粗糙度對M0/Si多層膜反射率的影響.理論分析髮現這兩種因素對Mo/Si多層膜反射率影響完全不同:入射光低的單色性不但極大降低Mo/Si多層膜峰值反射率,而且使反射麯線的半峰全寬增加;而界麵粗糙度是降低Mo/Si多層膜反射麯線上各點對應值,基本不改變Mo/Si反射麯線的半峰全寬,不改變反射麯線的形狀.說明這兩箇因素在軟X射線的長波段對多層膜反射性能的影響不同.
다층막계면조조도、입사광단색성대연X사선다층막실제반사솔균유영향.이용수학권적적분,이론상추도출일개재입사광불동단색성하정학계산다층막반사솔적공식.이용급출적이론계산공식,간요분석료입사광불동단색성、불동계면조조도대M0/Si다층막반사솔적영향.이론분석발현저량충인소대Mo/Si다층막반사솔영향완전불동:입사광저적단색성불단겁대강저Mo/Si다층막봉치반사솔,이차사반사곡선적반봉전관증가;이계면조조도시강저Mo/Si다층막반사곡선상각점대응치,기본불개변Mo/Si반사곡선적반봉전관,불개변반사곡선적형상.설명저량개인소재연X사선적장파단대다층막반사성능적영향불동.
