现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2009年
13期
202-203,207
,共3页
磁控溅射%有限元%横向分量%磁通量密度
磁控濺射%有限元%橫嚮分量%磁通量密度
자공천사%유한원%횡향분량%자통량밀도
磁控溅射靶枪中磁通量密度的横向分布情况对靶材的利用率、沉积薄膜的质量及磁控溅射过程的稳定性等都有重大的影响.利用有限元理论对靶表面磁通量密度的横向分量进行了模拟分析.同时,也使用高斯计对靶表面磁场强度的横向分布进行了实际测量.比较得知,模拟结果和实际测量结果在很高的精度上是一致的.这个结果对于优化磁控溅射靶枪的设计及提高膜层的特性等方面都具有很高的实用价值.
磁控濺射靶鎗中磁通量密度的橫嚮分佈情況對靶材的利用率、沉積薄膜的質量及磁控濺射過程的穩定性等都有重大的影響.利用有限元理論對靶錶麵磁通量密度的橫嚮分量進行瞭模擬分析.同時,也使用高斯計對靶錶麵磁場彊度的橫嚮分佈進行瞭實際測量.比較得知,模擬結果和實際測量結果在很高的精度上是一緻的.這箇結果對于優化磁控濺射靶鎗的設計及提高膜層的特性等方麵都具有很高的實用價值.
자공천사파창중자통량밀도적횡향분포정황대파재적이용솔、침적박막적질량급자공천사과정적은정성등도유중대적영향.이용유한원이론대파표면자통량밀도적횡향분량진행료모의분석.동시,야사용고사계대파표면자장강도적횡향분포진행료실제측량.비교득지,모의결과화실제측량결과재흔고적정도상시일치적.저개결과대우우화자공천사파창적설계급제고막층적특성등방면도구유흔고적실용개치.
