发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2008年
3期
495-498
,共4页
刘磁辉%苏剑锋%张伟英%田珂%傅竹西
劉磁輝%囌劍鋒%張偉英%田珂%傅竹西
류자휘%소검봉%장위영%전가%부죽서
氧化锌%热退火%深能级%光电特性
氧化鋅%熱退火%深能級%光電特性
양화자%열퇴화%심능급%광전특성
用射频磁控溅射在硅衬底上淀积氧化锌薄膜,并对样品分别作氮气、空气、氧气等不同条件下退火处理.为研究退火气氛对ZnO/Si薄膜中缺陷以及折射率的影响,由深能级瞬态谱(DLTS)以及椭偏测量方法进行了检测.椭偏测量结果表明相对原始生长的样品,在氮气和空气退火使ZnO薄膜折射率下降,但氧气中退火使折射率升高.我们对折射率的这种变化机理进行了解释.DLTS测量得到一个与Zn**i相关的深能级中心E1存在,氧气气氛退火可以消除E1能级.在氮气退火情况下Zn**i的存在对抑制VO引起的薄膜折射率下降有利.
用射頻磁控濺射在硅襯底上澱積氧化鋅薄膜,併對樣品分彆作氮氣、空氣、氧氣等不同條件下退火處理.為研究退火氣氛對ZnO/Si薄膜中缺陷以及摺射率的影響,由深能級瞬態譜(DLTS)以及橢偏測量方法進行瞭檢測.橢偏測量結果錶明相對原始生長的樣品,在氮氣和空氣退火使ZnO薄膜摺射率下降,但氧氣中退火使摺射率升高.我們對摺射率的這種變化機理進行瞭解釋.DLTS測量得到一箇與Zn**i相關的深能級中心E1存在,氧氣氣氛退火可以消除E1能級.在氮氣退火情況下Zn**i的存在對抑製VO引起的薄膜摺射率下降有利.
용사빈자공천사재규츤저상정적양화자박막,병대양품분별작담기、공기、양기등불동조건하퇴화처리.위연구퇴화기분대ZnO/Si박막중결함이급절사솔적영향,유심능급순태보(DLTS)이급타편측량방법진행료검측.타편측량결과표명상대원시생장적양품,재담기화공기퇴화사ZnO박막절사솔하강,단양기중퇴화사절사솔승고.아문대절사솔적저충변화궤리진행료해석.DLTS측량득도일개여Zn**i상관적심능급중심E1존재,양기기분퇴화가이소제E1능급.재담기퇴화정황하Zn**i적존재대억제VO인기적박막절사솔하강유리.
