光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2582-2588
,共7页
光学检测%光学成像系统%光学波前%光瞳函数%出瞳振幅分布%相位复原
光學檢測%光學成像繫統%光學波前%光瞳函數%齣瞳振幅分佈%相位複原
광학검측%광학성상계통%광학파전%광동함수%출동진폭분포%상위복원
基于扩展奈波尔-泽尼克理论,分析了不同出瞳振幅分布情况对光学系统焦面处光强分布的影响.针对光学成像系统出瞳振幅实际分布状态,提出了一种新的测试光学波前的方法,解决了相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题.通过测评实验,对一光学系统进行了测试,获得的光学系统出瞳波前(PV)值为0.196 5λ,RMS值为0.022 4λ(测试波长λ=632.8 nm),此波前中主要含有像散、彗差和高阶像散等像差.该方法亦可用于分析光学系统出瞳振幅分布,数值计算其他焦面处的光强分布.测评实验证明了此方法的有效性.
基于擴展奈波爾-澤尼剋理論,分析瞭不同齣瞳振幅分佈情況對光學繫統焦麵處光彊分佈的影響.針對光學成像繫統齣瞳振幅實際分佈狀態,提齣瞭一種新的測試光學波前的方法,解決瞭相位恢複算法中齣瞳振幅分佈不均勻和快速傅裏葉變換引入計算誤差的問題.通過測評實驗,對一光學繫統進行瞭測試,穫得的光學繫統齣瞳波前(PV)值為0.196 5λ,RMS值為0.022 4λ(測試波長λ=632.8 nm),此波前中主要含有像散、彗差和高階像散等像差.該方法亦可用于分析光學繫統齣瞳振幅分佈,數值計算其他焦麵處的光彊分佈.測評實驗證明瞭此方法的有效性.
기우확전내파이-택니극이론,분석료불동출동진폭분포정황대광학계통초면처광강분포적영향.침대광학성상계통출동진폭실제분포상태,제출료일충신적측시광학파전적방법,해결료상위회복산법중출동진폭분포불균균화쾌속부리협변환인입계산오차적문제.통과측평실험,대일광학계통진행료측시,획득적광학계통출동파전(PV)치위0.196 5λ,RMS치위0.022 4λ(측시파장λ=632.8 nm),차파전중주요함유상산、혜차화고계상산등상차.해방법역가용우분석광학계통출동진폭분포,수치계산기타초면처적광강분포.측평실험증명료차방법적유효성.
