光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
8期
1403-1410
,共8页
卢慧卿%王宝光%晁中元%李亚标
盧慧卿%王寶光%晁中元%李亞標
로혜경%왕보광%조중원%리아표
质谱仪%激光熔样系统%标定%智能化
質譜儀%激光鎔樣繫統%標定%智能化
질보의%격광용양계통%표정%지능화
为了提高质谱仪熔样系统的熔样精度、效率和自动化程度,以惰性气体同位素质谱仪为实验对象,对熔样系统的智能化进行研究.完成了激光熔样系统中二维样品台的重新设计,石墨炉进样系统的自动化设计.设计了一系列控制子程序,并对视觉系统进行了标定.标定后的激光熔样系统有很高的精度,重复性误差为0.005 mm.实验结果表明,改造后的熔样系统有很好的稳定性,提高了效率.
為瞭提高質譜儀鎔樣繫統的鎔樣精度、效率和自動化程度,以惰性氣體同位素質譜儀為實驗對象,對鎔樣繫統的智能化進行研究.完成瞭激光鎔樣繫統中二維樣品檯的重新設計,石墨爐進樣繫統的自動化設計.設計瞭一繫列控製子程序,併對視覺繫統進行瞭標定.標定後的激光鎔樣繫統有很高的精度,重複性誤差為0.005 mm.實驗結果錶明,改造後的鎔樣繫統有很好的穩定性,提高瞭效率.
위료제고질보의용양계통적용양정도、효솔화자동화정도,이타성기체동위소질보의위실험대상,대용양계통적지능화진행연구.완성료격광용양계통중이유양품태적중신설계,석묵로진양계통적자동화설계.설계료일계렬공제자정서,병대시각계통진행료표정.표정후적격광용양계통유흔고적정도,중복성오차위0.005 mm.실험결과표명,개조후적용양계통유흔호적은정성,제고료효솔.
