Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
Φ125 mm직랍규단정양경향균균성연구
Study on Radial Oxygen Uniformity of Φ125 mm Cz-Si Crystal
  • 万方数据
    稀有金属 희유금속
    CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
    1998年 6期 466-468 ,共3页

    郝玉清%张果虎%常青%方锋%吴志强%万关良%秦福

    학옥청%장과호%상청%방봉%오지강%만관량%진복

    Φ125%mm硅单晶%氧径向均匀性%热场%晶转速度%石英坩埚转速 Φ125%mm硅單晶%氧徑嚮均勻性%熱場%晶轉速度%石英坩堝轉速
    Φ125%mm규단정%양경향균균성%열장%정전속도%석영감과전속
    为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.
    위공제양경향균균성, 선택Φ350 mm열장. 증가정전속도가이개선양경향균균성, 단석영감과전속대양경향균균성몰유명현영향.
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