微电子学与计算机
微電子學與計算機
미전자학여계산궤
MICROELECTRONICS & COMPUTER
2004年
7期
168-170,180
,共4页
波长选择性%非致冷%气动式红外探测器%流体-热-结构耦合
波長選擇性%非緻冷%氣動式紅外探測器%流體-熱-結構耦閤
파장선택성%비치랭%기동식홍외탐측기%류체-열-결구우합
介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作模式的有限元模型,采用流体-热-结构耦合方法分析了器件的机械行为以及气体介质的温度场分布,模拟并讨论了不同结构参数对器件性能的影响,为采用MEMS技术研制具有波长选择特性的非致冷气动式红外探测器提供了理论基础.
介紹瞭一種可工作于室溫環境下的微型氣動式紅外探測器,它基于氣體介質吸收特定波段的紅外輻射後以無輻射氣動方式激勵併產生一繫列熱效應的物理基礎,可穫得包含紅外輻射源信息的信號.建立瞭符閤器件工作模式的有限元模型,採用流體-熱-結構耦閤方法分析瞭器件的機械行為以及氣體介質的溫度場分佈,模擬併討論瞭不同結構參數對器件性能的影響,為採用MEMS技術研製具有波長選擇特性的非緻冷氣動式紅外探測器提供瞭理論基礎.
개소료일충가공작우실온배경하적미형기동식홍외탐측기,타기우기체개질흡수특정파단적홍외복사후이무복사기동방식격려병산생일계렬열효응적물리기출,가획득포함홍외복사원신식적신호.건립료부합기건공작모식적유한원모형,채용류체-열-결구우합방법분석료기건적궤계행위이급기체개질적온도장분포,모의병토론료불동결구삼수대기건성능적영향,위채용MEMS기술연제구유파장선택특성적비치랭기동식홍외탐측기제공료이론기출.
