电化学
電化學
전화학
2006年
2期
125-133
,共9页
王增林%刘志鹃%姜洪艳%王秀文%新宫原 正三
王增林%劉誌鵑%薑洪豔%王秀文%新宮原 正三
왕증림%류지견%강홍염%왕수문%신궁원 정삼
化学镀铜%超级化学镀%大马士革铜互连线%种子层%防扩散层
化學鍍銅%超級化學鍍%大馬士革銅互連線%種子層%防擴散層
화학도동%초급화학도%대마사혁동호련선%충자층%방확산층
总结自大马士革铜工艺建立以来,电化学工作者利用化学镀技术围绕该工艺而开展的一系列相关研究,介绍了应用化学镀沉积镍三元合金防扩散层和化学镀铜种子层的研究以及离子束沉积法(Ionied Cluster Beam,LCB)形成Pd催化层后的化学镀铜技术和超级化学镀铜方法.简要叙述化学镀铜技术在超大规模集成电路中的应用,总结化学镀铜技术的研究进展,并指出了今后的发展方向.
總結自大馬士革銅工藝建立以來,電化學工作者利用化學鍍技術圍繞該工藝而開展的一繫列相關研究,介紹瞭應用化學鍍沉積鎳三元閤金防擴散層和化學鍍銅種子層的研究以及離子束沉積法(Ionied Cluster Beam,LCB)形成Pd催化層後的化學鍍銅技術和超級化學鍍銅方法.簡要敘述化學鍍銅技術在超大規模集成電路中的應用,總結化學鍍銅技術的研究進展,併指齣瞭今後的髮展方嚮.
총결자대마사혁동공예건립이래,전화학공작자이용화학도기술위요해공예이개전적일계렬상관연구,개소료응용화학도침적얼삼원합금방확산층화화학도동충자층적연구이급리자속침적법(Ionied Cluster Beam,LCB)형성Pd최화층후적화학도동기술화초급화학도동방법.간요서술화학도동기술재초대규모집성전로중적응용,총결화학도동기술적연구진전,병지출료금후적발전방향.
